研究室紹介

トライボロジーで研磨加工を高性能化

西岡 岳 教授/博士(工学)
物体の表面を磨き、平らにしていく研磨技術は、石器時代から使われている加工方法です。摩擦や摩耗をコントロールするトライボロジーの技術を応用し、より精度良く、より効率的に研磨を行う方法の確立をめざします。
【研究テーマ】
●研磨機構の解明
●研磨率の荷重特性制御
●化学的機械研磨 など
(Chemical Mechanical Polishing)
【教育研究業績情報】