研究室紹介
電子顕微鏡の分解能を究極まで向上
西 竜治 教授／博士（工学）
現代のITや通信技術は、年々微細化と高集積化が進む、高度な半導体製造技術に支えられています。そこにはナノメートルサイズに迫る超微細なトランジスタなどの電子回路が作り込まれています。これらを観察・評価するために使われる電子顕微鏡を高性能化するためのキーテクノロジーであるレンズ収差補正器およびその電子光学技術を研究しています。
【研究テーマ】
●新しい収差補正器
●電子光学シミュレータ
の開発 など
●電子光学シミュレータ
の開発 など
【教育研究業績情報】